【真空镀膜机冲洗工艺之反应气体冲洗】这种方法特别适用于da型超高不锈钢真空系统的内部洗(去除碳氢化合物污染)。通常对于某些da型超高真空系统的真空室和真空元件,为了获得原子态的清洁表面,消除其表面污染的标准方法是化学清洗,真空炉焙烧、辉光放电清洗及原能烘烤真空系统等方法。以上的清洗和除气方法常用于真空系统安装前及装配期间。在真空系统安装后(或系统运行后),由于真空系统内的各种零部件已经被固定,这时对它们进行除气处理就很困难,一旦系统受到(偶然)污染(主要是da原子数的分子如碳氢化合物的污染),通常要拆卸后重新处理再安装.而用反应气体工艺,可以进行原位在线除气处理.有效地除去不锈钢真空室内的碳氢化合物的污染.其清洗机理:在系统中引述氧化性气体(O2、N0)和还原性气体(H2、NH3)对金属表面进行化学反应清洗,消除污染,以便获得原子态的清洁金属表面。表面氧化/还原的速率取决于污染的情况及金属表面的材质,表面反应速率的da小通过调整反应气体的压力和温度来控制。对于每一种基材而言,精确的参数要通过实验来确定.对于不同的结晶取向,这些参数是不同的。成都国泰真空镀膜机怎么样?北京空心阴极霍尔离子源源头实力厂家
【真空镀膜之金属拉丝】金属拉丝:是指通过研磨产品在工件表面形成线纹,并且起到装饰效果的一种表面处理手段。根据拉丝后纹路的不同可分为:直纹拉丝、乱纹拉丝、波纹、旋纹适用材料:几乎所有的金属材料都可以使用金属拉丝工艺工艺成本:工艺方法简单,设备需求简单,材料消耗比较少,成本比较低廉,经济效益尤其高环境影响:纯金属制品,表面无油漆等任何化学化工物质,600度高温不燃烧,不会产生有毒气体,符合消防标准的环保要求山东塑胶镀膜空心阴极霍尔离子源制造生产真空镀膜机常见故障及解决方法。
【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料,把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的,它的温度可以单独控制。基片通常接地位,它和靶与高频电路无关,不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击,因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型,控温范围为-10℃~50℃,精度≤0。5℃),实现对样品台的单独控温,就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造,设计、加工了专门的金属样品架,放上样品后盖上金属压片,用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上,可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻,用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧,再用导线引出与高精度的万用表相连,以监测薄膜生长过程中的样品温度。
【真空镀膜机操作工艺流程】首先开水、电、气→总电源→开维持泵→开扩散泵加热→开粗抽泵→开预抽阀→关预抽阀→开粗抽阀→开罗茨泵→如有离子轰击,开轰击30秒,关轰击→开真空计→当真空到,关粗抽阀→开前置阀→开精抽阀,当真空达到7x10-3pa,开转架→开始镀膜操作→镀膜完毕后,关闭真空计、离子源→关精抽阀,前置阀→关罗茨泵→开抽气阀,取件→上料,反复开始操作。特别注意:1.设备停用时,镀膜室要保持真空状态,减少内表面气体的吸附,防止氧化。2.冷却水通道场下才能对扩散泵进行加热,未经充分冷却的泵不得与da气接触,防止氧化。3.要保证机器内扩散泵和机械泵的油定期检查和更换。4.设备运行中遇有停电或其它事故发生,须先停扩散泵,关精抽阀,前置阀和真空计。5.产品做完下班后,关了扩散泵后须待温度降低至60℃后才能关维持泵。真空镀膜机故障维修技巧有哪些?
【常见的真空材料表面上的污染物类型】1、油脂:加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;2、酸、碱、盐类物质:清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等;3、表面氧化物:材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物;4、水基类:操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等;5、抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。清洗这些污染物的目的是为了改进真空镀膜机的工作稳定性,使工作能够更加顺利的进行。清洗后的表面根据要求分为原子级清洁表面和工艺技术上的清洁表面两类。在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜前,对镀膜材料做简单的表面清洁可以延长镀膜机的使用寿命。因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。前期到位的清洗工作可以减少许多麻烦,避免许多小问题的发生,对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有十分积极的作用。可dada提高真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。真空镀膜机的主要应用。宁夏空心阴极霍尔离子源自主研发设计生产
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【真空镀膜之阳极氧化】阳极氧化:主要是铝的阳极氧化,是利用电化学原理,在铝和铝合金的表面生成一层Al2O3(氧化铝)膜。这层氧化膜具有防护性、装饰性、绝缘性、耐磨性等特殊特性适用材料:铝、铝合金等铝制品工艺成本:生产过程中,水、电的消耗是相当da的,特别是在氧化工序。机器本身的热耗,需要不停地用循环水进行降温,吨电耗往往在1000度左右。环境影响:阳极氧化在能效方面不算出色,同时在铝电解生产中,阳极效应还会产生对da气臭氧层造成破坏性副作用的气体。北京空心阴极霍尔离子源源头实力厂家